光刻機之所以能在小小的芯片上進行雕刻,這主要得益于它有一把鋒利的“刀”。來自技術裝備展區(qū)的“老朋友”德國通快,是全球唯一的一家能夠供應極紫外光刻機光源的廠商,在今年進博會上,德國通快就帶來了極紫外(EUV)光刻機種子光模型,可以做到的“雕刻精度”在7nm以下,比一根頭發(fā)的萬分之一還要細。這也是該項技術的亞洲首秀。
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