經(jīng)過近17個(gè)月的努力，今天，上海華力集成電路12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目迎來重要節(jié)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備——光刻機(jī)搬入,標(biāo)志著華力二期從基建階段進(jìn)入試生產(chǎn)準(zhǔn)備階段，力爭(zhēng)年底前完成生產(chǎn)線串線并實(shí)現(xiàn)試流片，屆時(shí)將達(dá)到月產(chǎn)能4萬片的芯片能力，為上海集成電路產(chǎn)業(yè)助力。

上午9:35分，第一臺(tái)工藝設(shè)備順利搬入廠房，此次搬入的首臺(tái)工藝設(shè)備為荷蘭阿斯麥公司的NXT1980Di光刻機(jī)，是目前中國(guó)大陸集成電路生產(chǎn)線上最先進(jìn)的浸沒式光刻機(jī)。隨著首臺(tái)工藝設(shè)備的搬入，標(biāo)志著上海最大的集成電路項(xiàng)目正式進(jìn)入到試生產(chǎn)準(zhǔn)備階段。

未來五個(gè)月內(nèi)，工藝設(shè)備將集中搬入，并完成安裝調(diào)試，年底前完成生產(chǎn)線串線并實(shí)現(xiàn)試流片。

華力12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目是上海市最大的集成電路產(chǎn)業(yè)投資項(xiàng)目，總投資387億元人民幣，將建成月產(chǎn)能4萬片的12英寸集成電路芯片生產(chǎn)線，工藝覆蓋28-14納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)。項(xiàng)目計(jì)劃于2022年底建成達(dá)產(chǎn)。項(xiàng)目主要從事邏輯芯片生產(chǎn)，重點(diǎn)服務(wù)國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)企業(yè)先進(jìn)芯片的制造，并滿足部分事關(guān)國(guó)家信息安全的重點(diǎn)芯片制造需求。

此次首臺(tái)設(shè)備的搬入，為上海市落實(shí)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》取得了階段性勝利，同時(shí)對(duì)上海建設(shè)先進(jìn)制造業(yè)的產(chǎn)業(yè)集群高地、打響“上海制造”品牌有著重要意義。

（看看新聞Knews記者：葛孝蘭 實(shí)習(xí)編輯：潘慧嫻）